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雙面研磨/拋光機
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雙面研磨/拋光機
YJ-9.6B10L/PE&YJ-9B5L/PE

被加工件最大厚度:20mm
被加工件最大直徑:180mm
機器重量:約1900kg
本機器主要適用于硅片、石英晶片、光學晶體、玻璃、寶石、鈮酸鋰、砷化鎵、陶瓷片等薄脆金屬或非金屬的研磨或拋光。
The machine is suitable for double side lapping and polishing of thin and fragile metal or non-metal parts such as silicon wafer, crystal quartz, optical crystal, glass, jewelry, lithium niobium acid, gallium arsenide, and ceramic wafer, etc.
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產品描述
參數

產品特點產品特點
  • 機器采用四電機驅動,游星輪在上下盤之間做行星運動,工件上下表面同時均勻研磨/ 拋光,生產效率高;
  • 機器采用內齒圈升降,內齒圈升降采用點動控制方式操作,使操作者能自由控制齒圈升降高度;
  • 下盤不抬升,設置了調節水平的三點支承結構,可對下盤的偏斜進行微調,以提高機器精度;
  • 電機采用變頻調速器控制,能在有效設置范圍內以任意速度工作;
  • 氣動系統采用優質氣控元件,上盤、齒圈升降平穩無爬行現象,上盤下降過程中,設置了快降和緩降;
  • 太陽輪、齒圈皆可以單獨調速,能靈活調整工藝參數,工藝適應性強。

項目 規格 項目 規格
YJ-9B5LE YJ-9.6B10LE

上盤(mm)

下盤(mm)

(外徑x內徑x厚度)

φ638xφ222x40 (上盤)

φ638xφ222x40 (下盤)

上盤(mm)

下盤(mm)

(外徑x內徑x厚度)

φ622xφ386x40 (上盤)

φ622xφ386x40 (下盤)

安裝游星輪個數 5 安裝游星輪個數 10
被加工件最大厚度(mm) 20 被加工件最大厚度(mm) 20
被加工件最大直徑(mm) 180 被加工件最大直徑(mm) 100
下盤轉速 0-50r/min 下盤轉速 0-50r/min
上盤轉速 0-40r/min 上盤盤轉速 0-40r/min
內齒圈抬升行程 0-25mm 內齒圈抬升行程 0-25mm
主電機 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min 主電機 3相 3kw 1450 r/min
砂泵電機 120W 砂泵電機 120W
拋光時間設定范圍 0-9999s 拋光時間設定范圍 0-9999s
氣源壓力 0.5-0.6Mpa 氣源壓力 0.5-0.6Mpa
工作壓力 0.45-0.6Mpa 工作壓力 0.45-0.6Mpa
裝機容量 約6KVA可增至9KVA 裝機容量 約6KVA
外形尺寸(長x寬x高) 1400x970x2340 (mm) 外形尺寸(長x寬x高) 1400x970x2340 (mm)
設備質量 約1900kg 設備質量 約1900kg
設備每平方米重量 約1400kg/m2 設備每平方米重量 約1400kg/m2
設備要求地面承重 1550kg/m2 設備要求地面承重 1550kg/m2
YJ-9B5PE YJ-9.6B10PE

上盤(mm)

下盤(mm)

(外徑x內徑x厚度)

φ638xφ222x40 (上盤)

φ638xφ222x40 (下盤)

上盤(mm)

下盤(mm)

(外徑x內徑x厚度)

φ622xφ386x40 (上盤)

φ622xφ386x40 (下盤)

安裝游星輪個數 5 安裝游星輪個數 10
被加工件最大厚度(mm) 20 被加工件最大厚度(mm) 20
被加工件最大直徑(mm) 180 被加工件最大直徑(mm) 100
下盤轉速 0-50r/min 下盤轉速 0-50r/min
上盤轉速 0-40r/min 上盤盤轉速 0-40r/min
內齒圈抬升行程 0-25mm 內齒圈抬升行程 0-25mm
主電機 3相 3kw可增至5.5kw 1450 r/min 主電機 3相 3kw 1450 r/min
砂泵電機 120W 砂泵電機 120W
拋光時間設定范圍 0-9999s 拋光時間設定范圍 0-9999s
氣源壓力 0.5-0.6Mpa 氣源壓力 0.5-0.6Mpa
工作壓力 0.45-0.6Mpa 工作壓力 0.45-0.6Mpa
裝機容量 約6KVA可增至9KVA 裝機容量 約6KVA
外形尺寸(長x寬x高) 1400x970x2340 (mm) 外形尺寸(長x寬x高) 1400x970x2340 (mm)
設備質量 約1900kg 設備質量 約1900kg
設備每平方米重量 約1400kg/m2 設備每平方米重量 約1400kg/m2
設備要求地面承重 1550kg/m2 設備要求地面承重 1550kg/m2

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