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磁控AF鍍膜機
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磁控AF鍍膜機
YCAF1916A

總功率:148KW
尺寸:W4500×D6000×H3250mm
機器重量:9(t)
設備專門用于IT 制造業結構件真空鍍膜加工,各系統單元和總體構成滿足光學和功能薄膜生產工藝要求,適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
The equipment is specially used for vacuum coating processing of structural parts of IT manufacturing. Each system unit and overall composition meets the requirements of optical and functional film production process. It is suitable for AR film, NCVM color film, metal decorative film, metal functional film, AF functional film and so on.
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參數

 

 

 

  • 設備專門用于IT 制造業結構件真空踱膜加工,各系統單元和總體構成滿足光學和功能薄膜生產工藝要求,適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
  • 該渡膜機鍍膜機采用立式箱體,前置室門上裝有觀察窗,箱內安裝轉架驅動,爐內安裝烘烤系統,后置排氣法蘭連接高真空泵;

1) 前級真空:由旋片泵、 羅茨泵構成;

2) 高真空:擴散泵、 超低溫冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和擴散泵冷阱;

3) 抽氣系統:由各級泵、 管道和閥門,在系統的控制下完成啟動、 粗抽精抽、 待命和維持流程。

 

 

 

 

項目 規格
成膜系統
1)中頻電源旋轉陰極李生圓柱靶*1, 另外預留對靶位(電源可轉換分別驅動兩套靶)
2)8舟阻抗式蒸發源*2;
3)離子轟擊棒*4。
工作模式
離子清洗、 加熱蒸發,石英晶體薄膜厚度控制器監控膜厚并自動判停。
工藝流程
裝夾-抽真空-離子清洗-電子槍蒸渡-阻抗式蒸發AF- 進氣、 出爐。
功率
總功率148KW, 平均功率48KW
設備外尺寸及總重
1)主框架及控制柜,不開門 W4500× D6000× H3250 , 開門 W4500×D7300× H3250;
2)粗抽泵組及粗抽管占地:2000×1500;
3)主框架外部必要的操作和維護維護空間:水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm
4)總重:9 噸

 

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